半導(dǎo)體電子工業(yè)氣體常規(guī)檢測五項及標(biāo)準(zhǔn)
時間：2023-09-05 16:24 點擊次數(shù)：
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。
對半導(dǎo)體行業(yè)來說，從單個芯片生成到*后器件的封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體，由此電子氣被稱為半導(dǎo)體制造的“糧食”和“血液”。
常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣有80多種
化學(xué)氣相沉積所用氨氣、氦氣，氧化亞氮，三氯氫硅，氟化氮，硅烷，六氟化鎢等；
光刻所用氦氣，氟氣，氪氣，氖氣等；
干蝕刻所用氦氣，四氟化碳，二氟甲烷，三氟甲烷，六氟乙烷，八氟丙烷，六氟化硫，氯化氫等，
離子注入所用氟化砷，三氟化磷，三氟化硼，四氟化硅等；
摻雜所用三氯化硼，乙硼烷，三氟化硼，磷化氫等。
我們支持檢測壓縮空氣檢測：顆粒，水分，露點，油份檢測，有害氣氧氣，金屬離子。含水量是電子氣體純度非常重要的一項指標(biāo)，即使億分之一濃度的水分都會影響半導(dǎo)體單晶生長質(zhì)量。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，對電子氣體中的水含量要求越來越嚴(yán)格，再加上一些氣體的反應(yīng)性、腐蝕性等特性，這對水分含量的測定提出了很高的要求。
