盡管做了很多工作， 但潔凈室的靜電問題仍然影響著生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量， 影響著制造成本和效益， 影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。 有報(bào)導(dǎo)國外工業(yè)專家估計(jì)， 美國由于靜電造成產(chǎn)品的損失平均在 8-33%。還有人估計(jì)美國每年靜電對電子工業(yè)毀損價(jià)值達(dá) 100 億美元， 日本 80 年代曾對報(bào)廢的電子產(chǎn)品進(jìn)行分析， 由靜電引起的損失占 1 /3。 我國半導(dǎo)體， 平面液晶顯示， 光電子等都起步較晚， 但靜電危害也累有發(fā)生， 成品率較低。 如北京一公司， SMT車間冬季 4 個(gè)月 ，常因靜電造成上百萬元損失。
潔凈室中為何容易產(chǎn)生靜電，造成靜電污染，潔凈室檢測中靜電如何檢測？
潔凈室中大量的高絕緣介質(zhì)裝飾材料、 地面、 墻、 門、 頂棚、 隔斷、 工作臺(tái)、 椅子等等， 這些材料摩擦容易起電帶電， 不易泄漏釋放。
人穿潔凈工作服、 鞋、 步行或工作時(shí)， 與不同物質(zhì)設(shè)備器材摩擦要產(chǎn)生靜電， 人、 衣服、鞋都會(huì)帶電。
空調(diào)氣流經(jīng)過初效過濾器， 中效過濾器， 高效過濾器， 凈化出口氣流是帶靜電的。
大量的絕緣器材、 裝備和工具， 也是重要的靜電電荷源。
潔凈室的潔凈度要求越高， 靜電帶電便越嚴(yán)重。
潔凈室中靜電控制
（1 ） 靜電控制的基本原則
① 確定靜電控制級別
② 盡量減少靜電荷的產(chǎn)生
③ 泄放和中和的辦法加速靜電荷消散， 防止靜電積累
④ 保護(hù)產(chǎn)品不受 ESD 的損壞
（2） 確定靜電控制的級別
① 元器件、 組件和設(shè)備靜電敏感度分級
1 級： 易遭受 0-1 999V 靜電電壓損壞的
2 級： 易遭受 2000-3999V 靜電電壓損壞的
3 級： 易遭受 4000-5999V 靜電電壓損壞的
而敏感靜電壓大于 1 6000V 的， 便不必采取防靜電措施。
盡量減小靜電荷的產(chǎn)生
這是控制靜電三步曲的第一步， 在這凈化工作環(huán)境中， 最好的措施：
① 盡量采用性質(zhì)相似器材， 減少在接觸摩擦分離過程中產(chǎn)生靜電電荷；
② 盡量采用導(dǎo)靜電型或靜電耗散型材料的器材， 減少接觸摩擦分離過程產(chǎn)生積累靜電荷；
③ 盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。
泄放和中和
這是控制靜電三步曲的第二步， 在微電子生產(chǎn)的凈化室中最通常的措施是接地， 采用導(dǎo)電性或耗散性材料泄放靜電荷， 以及離子化消電器中和靜電荷。
① 接地凈化設(shè)備
潔凈室應(yīng)設(shè)一個(gè)獨(dú)立靜電接地系統(tǒng)， 包括地面接地金屬網(wǎng)支系統(tǒng)、 生產(chǎn)線工作站（臺(tái)） 接地支系統(tǒng)。 以便室內(nèi)所有設(shè)備金屬外殼， 移動(dòng)設(shè)備的金屬支架， 防靜電器材等安全、 有效地將靜電荷泄放至大地， 工作人員的帶電則通過手腕帶接地， 通過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地面向大地泄放。 地面、 墻面、 頂棚、 隔斷等是硬接地， 設(shè)備外殼、 移動(dòng)設(shè)備（車、 椅、 貨架等） 、 工作臺(tái)等則屬軟接地。
② 離子化肖電器
潔凈室中生產(chǎn)組裝的元器件、 PCB、 生產(chǎn)線上、 工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導(dǎo)體， 絕緣介質(zhì)材料（例如大多數(shù)普通塑料） ， 在某些環(huán)境下， 離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電荷， 而更經(jīng)常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質(zhì)上和孤立導(dǎo)體上的所帶靜電電荷。
③ 導(dǎo)靜電和靜電耗散材料
導(dǎo)靜電材料和靜電耗散材料由于其具有導(dǎo)靜電性， 也是很好的靜電荷泄放材料， 而且比金屬導(dǎo)體泄放更具有安全性， 通常被采用做地板、 墻面、 工作臺(tái)、 周轉(zhuǎn)容器、 鑷子、 刷子等防靜電器材。
防 ESD， 保護(hù)產(chǎn)品
這是控制靜電的三步曲中最后一步， 在微電子生產(chǎn)的凈化室中， 為阻止靜電發(fā)生在靜電敏感元器件或組件、 PCB 上， 一種方法是對元器件和組件提供合適的接地或分路以“消散” 掉產(chǎn)品上存在的靜電荷； 第二種方法是用恰當(dāng)?shù)陌b方法和材料來處理靜電敏感器件的包裝和輸運(yùn)。 這些材料可有效地屏蔽電荷侵入產(chǎn)品以及減少產(chǎn)品在包裝箱中移動(dòng)而產(chǎn)生靜電荷。
